外観
モデル Excel 1051UC/UM Excel 1052 UC/UM Excel 1054 UC/UM
測定容積 (X,Y,Z mm) 1050x1050x160 1050x1050x250 1050x1050x400
測定重量 100Kg
本体寸法 (LWH, mm) 2000x1712x1607 2000x1712x1787 2000x1712x2087
本体重量 2518 kg 2530 kg 2539 kg
XY軸 精度 (μm) *1 3.3 + L/300 3.6 + L/300 4.3 + L/300
Z軸 精度 (μm) *2 2.8 + L/100 3.3 + L/100 3.8 + L/100
エンコーダ分解能 0.1 μm
基本倍率 1x (LWD) / 2x (SWD)
光学ズーム 12x
デジタルズーム 3x
綜合倍率 *3 15x~540x / 30x~1080x
最大XY速度 700mm/s
最大XY加速度 1400 mm/s² 1000 mm/s² 840 mm/s²
最大Z速度 100mm/s 250 mm/s
最大Z加速度 450mm/s² 600mm/s²
光源 落射照明 / 透過照明 / 同軸照明: 白色LED、カラーシステム(UC)、モノクロシステム(UM)、標準照明:16セグメント、マクロリングライト

*1 マイクロ・ビュー社規定の精度仕様に基づきます。
*2 Zの機械精度はワークの表面状態に依存します。
*3 綜合倍率はモニターサイズと設定に依存します。