外観
モデル Excel 1051UC Excel 1052 UC Excel 1054 UC
測定容積 (X,Y,Z mm) 1050x1050x160 1050x1050x250 1050x1050x400
測定重量 100Kg
本体寸法 (LWH, mm) 2000x1712x1607 2000x1712x1787 2000x1712x2087
本体重量 2518 kg 2530 kg 2539 kg
XY軸 精度 (μm) *1 3.3 + L/300 3.6 + L/300 4.3 + L/300
Z軸 精度 (μm) *2 2.8 + L/100 3.3 + L/100 3.8 + L/100
エンコーダ分解能 0.1 μm
基本倍率 1x (LWD) / 2x (SWD)
光学ズーム 12x
デジタルズーム 3x
綜合倍率 *3 15x~540x / 30x~1080x
最大XY速度 700mm/s
最大XY加速度 1400 mm/s² 1000 mm/s² 840 mm/s²
最大Z速度 100mm/s 250 mm/s
最大Z加速度 450mm/s² 600mm/s²
光源 落射照明 / 透過照明 / 同軸照明: 白色LED、カラーシステム、標準照明:16セグメント、マクロリングライト照明:40セグメント

*1 マイクロ・ビュー社規定の精度仕様に基づきます。
*2 Zの機械精度はワークの表面状態に依存します。
*3 綜合倍率はモニターサイズと設定に依存します。