外観
モデル Excel 200 Excel 250
測定容積 (X,Y,Z mm) 1250x2000x200 1600x2500x200
測定重量 100Kg
本体寸法 (LWH, mm) 3084x1905x1753 3810x2260x1753
本体重量 3776 kg 6027 kg
XY軸 精度 (μm) *1 5.5 + L/300 5.5 + L/300
Z軸 精度 (μm) *2 3.0 + L/150 3.0 + L/150
エンコーダ分解能 0.1 μm
基本倍率 1x (LWD) / 2x (SWD)
光学ズーム 12.5x
デジタルズーム 3x
綜合倍率 *3 15 ~ 180x / 30 ~ 360x
最大XY速度 500mm/s
最大XY加速度 1000 mm/s²
最大Z速度 500mm/s 100mm/s
最大Z加速度 500mm/s²
光源 落射照明 / 透過照明 / 同軸照明: 白色LED、カラーシステム、標準照明:16セグメント、マクロリングライト照明:40セグメント

*1 マイクロ・ビュー社規定の精度仕様に基づきます。
*2 Zの機械精度はワークの表面状態に依存します。
*3 綜合倍率はモニターサイズと設定に依存します。