外観
モデル Excel 661 HC Excel 661 UC Excel 662 UC Excel 664 UC
測定容積 (X,Y,Z mm) 650x680x160 650x680x160 650x680x250 650x680x400
測定重量 100Kg
本体寸法 (LWH, mm) 1603x1312x1605 1603x1312x1605 1603x1312x1787 1603x1312x2062
本体重量 1605 kg 1619 kg 1633 kg
XY軸 精度 (μm) *1 2.8 + L/200 2.5 + L/300 2.8 + L/300 3.2 + L/300
Z軸 精度 (μm) *2 2.8 + L/150 2.5 + L/150 3.0 + L/150 3.5 + L/150
エンコーダ分解能 0.4 μm 0.1 μm
基本倍率 1x (LWD) / 2x (SWD)
光学ズーム 6.5x 12x
デジタルズーム 3x
綜合倍率 *3 20x~370x /
40x~740x
15x~540x / 30x~1080x
最大XY速度 700mm/s
最大XY加速度 1400 mm/s² 1000 mm/s² 840 mm/s²
最大Z速度 100mm/s 250 mm/s
最大Z加速度 450mm/s² 600 mm/s²
光源 落射照明 / 透過照明 / 同軸照明: 白色LED、カラーシステム、標準照明:16セグメント、マクロリングライト照明:40セグメント

*1 マイクロ・ビュー社規定の精度仕様に基づきます。
*2 Zの機械精度はワークの表面状態に依存します。
*3 綜合倍率はモニターサイズと設定に依存します。