外観
モデル Excel 661 UC/UM Excel 662 UC/UM Excel 664 UC/UM
測定容積 (X,Y,Z mm) 650x680x160 650x680x250 650x680x400
測定重量 100Kg
本体寸法 (LWH, mm) 1603x1312x1605 1603x1312x1787 1603x1312x2062
本体重量 1605 kg 1619 kg 1633 kg
XY軸 精度 (μm) *1 2.5 + L/300 2.8 + L/300 3.2 + L/300
Z軸 精度 (μm) *2 2.5 + L/150 3.0 + L/150 3.5 + L/150
エンコーダ分解能 0.1 μm
基本倍率 1x (LWD) / 2x (SWD)
光学ズーム 12x
デジタルズーム 3x
綜合倍率 *3 15x~540x / 30x~1080x
最大XY速度 700mm/s
最大XY加速度 1400 mm/s² 1000 mm/s² 840 mm/s²
最大Z速度 100mm/s 250 mm/s
最大Z加速度 450mm/s² 600 mm/s²
光源 落射照明 / 透過照明 / 同軸照明: 白色LED、カラーシステム(UC)、モノクロシステム(UM)、標準照明:16セグメント、マクロリングライト

*1 マイクロ・ビュー社規定の精度仕様に基づきます。
*2 Zの機械精度はワークの表面状態に依存します。
*3 綜合倍率はモニターサイズと設定に依存します。