外観
モデル Excel 501HC Excel 502 HC Excel 501UC Excel 502 UC
測定容積 (X,Y,Z mm) 400x500x160 400x500x250 400x500x160 400x500x250
測定重量 100Kg
本体寸法 (LWH, mm) 1256x1081x1587 1256x1081x1766 1256x1081x1587 1256x1081x1766
本体重量 688 kg 696 kg 688 kg 696 kg
XY軸 精度 (μm) *1 2.8 + L/200 3.1 + L/200 2.5 + L/200 2.8 + L/200
Z軸 精度 (μm) *2 2.8 + L/100 3.3 + L/100 2.5 + L/100 3.0 + L/100
エンコーダ分解能 0.4 μm 0.1 μm
基本倍率 1x (LWD) / 2x (SWD)
光学ズーム 6.5x 12x
デジタルズーム 3x
綜合倍率 *3 20x~370x / 40x~740x 15x~540x / 30x~1080x
最大XY速度 700mm/s
最大XY加速度 1400 mm/s² 1000 mm/s² 1400 mm/s² 1000 mm/s²
最大Z速度 100mm/s
最大Z加速度 450mm/s²
光源 落射照明 / 透過照明 / 同軸照明: 白色LED、カラーシステム、標準照明:16セグメント、マクロリングライト照明:40セグメント

*1 マイクロ・ビュー社規定の精度仕様に基づきます。
*2 Zの機械精度はワークの表面状態に依存します。
*3 綜合倍率はモニターサイズと設定に依存します。