レーザー三角法センサー

特徴：

マイクロ・ビューレーザーセンサーは可視光スポットを測定対象に投影するレーザーダイオードで動作します。

その反射光は位置感度素子のある光学受信システムで画像化されます。

光スポットがその位置を変えると、この変化は受信素子で画像化され、評価されます。

マイクロ・ビューレーザーLSMシリーズは用途別に3種類のレーザーセンサーがあります。

マイクロ・ビューLSMレーザーは世界最高級と言われるマイクロ・エプシロン社のレーザーを採用しています。

マイクロ・ビューは、独自の即時表面補正(RTSC*) 付きレーザー三角法センサーを提供します。

RTSC機能では、対象物表面からの反射光量は連続露光中に即時に補正されます。　レーザーで生成される露光時間又は光量は光学的に対象物表面の反射特性に合わせられます。

マイクロ・ビューセンサーの特異性でもある、この革新的な即時表面補正制御は、急激に変化する反射特性でさえも、最適な結果を達成します。

これに対し、市場にある標準的なレーザー三角法センサーは前の測定サイクルに立脚するタイムシフト（時間移動）制御で動作します。この場合、前の測定からの反射量が次の測定の反射度を派生させるのに使われます。

布地表面等の変化では、測定結果はその為、実測値から顕著な偏差を生みます。反対に、マイクロ・ビューレーザーは即時に制御され、そして、平均化フィルターを使う事無しに、最適な反射状態に調整されます。（下図の測定結果になります。）

レーザーからのデータは、InSpec測定ソフトウェアーの各種のレーザースキャンツールから簡単に得られます。

　レーザーオートフォーカスツール：レーザーをその範囲の中心点の中央に移動

　レーザーポイントツール：現在のXYZ位置のZ高を測定

　レーザーラインツール：始点と終点間のXYZ位置から測定データを連続的に取得

　レーザー追加入力ツール：始点・終点を追加

レーザーが測定スキャンを行った後、そのデータを使って要素を作成する事も出来ます。曲線の編集ダイアログを使い、データ点をInSpec測定ソフトウェアーで別の要素の作成に使う事が出来ます。

マイクロ・ビューLSMレーザーシリーズには、用途に応じた3種類のモデルがあります。

品名	測定範囲	測定距離	分解能	スポット	用途	測定時間
LSM1	10mm	SMR: 30mmMMR: 35mm EMR: 40mm	0.5µm	丸型50µm	拡散・鏡面共用	１ポイント当り時間ポイント測定 (Z高) = 0.228秒スプライン測定(2D平面) = 0.003秒
LSM2	10mm	SMR: 30mmMMR: 35mm EMR: 40mm	0.5µm	ワイド35×585µm	拡散用 (粗い表面)
LSM3	2mm	SMR: 24mmMMR: 25mm EMR: 26mm	0.1µm	丸型35µm	鏡面用 (ガラス、ミラー)