▶ 製造元:プレシテック、ドイツ
▶ 透明な表面の正確な輪郭と厚さの測定
▶ 広い厚さ測定範囲
▶ 距離と形状の測定
▶ 用途:
マイクロエレクトロニクス部品などの位置および寸法測定、トポグラフィー、輪郭、粗さ測定(ツール表面など)、及びガラスコーティングの厚さ測定といった用途に最適です。
注:トポグラフィー(英:Topography)とは、対象物表面の凹凸および特徴を観察し、それを精細に表したものをいう。
▶ 代表的測定例:
– 半導体およびマイクロエレクトロニクス分野におけるウェハー測定。
– ガラスまたはプラスチックフィルムの厚さ測定と制御。