VAS垂直軸白色光スキャナー

▶ 製造元：プレシテック、ドイツ

▶ 透明な表面の正確な輪郭と厚さの測定

▶ 広い厚さ測定範囲

▶ 距離と形状の測定

▶ 用途：

マイクロエレクトロニクス部品などの位置および寸法測定、トポグラフィー、輪郭、粗さ測定（ツール表面など）、及びガラスコーティングの厚さ測定といった用途に最適です。

注：トポグラフィー（英:Topography）とは、対象物表面の凹凸および特徴を観察し、それを精細に表したものをいう。

▶ 代表的測定例：

– 半導体およびマイクロエレクトロニクス分野におけるウェハー測定。

– ガラスまたはプラスチックフィルムの厚さ測定。

マイクロビューのレーザーセンサーは光沢面の測定にも優れていますが、光が完全に透過してしまう「透明なガラス」や、さらにシビアなナノメートルレベルの分解能が要求される極小段差の測定においては、レーザーの物理的な限界に直面することがあります。
VAS（白色光センサー / Chromatic Confocal Sensor）は、白色光の色収差を利用した最先端の光学技術により、レーザーでは不可能な「透明素材」や、「強光沢・鏡面素材」であっても、ナノレベルの高精度で非接触測定を実現します。これまで専用の特殊な測定機を必要としていた難素材の測定を、汎用の三次元測定機上でシームレスに実行可能にしました。

従来の非接触センサーではエラーになっていた「光を透過・反射する難素材」や「極小の段差」の測定において、圧倒的な解決力を誇ります。

ガラス・透明フィルム：透明素材を非接触で正確に厚み測定します。
半導体ウェハー・鏡面金属：レーザーが対応できない強光沢面の微小な段差や形状を正確に捉えます。
医療用レンズ・微細部品：傷を絶対につけられない繊細な部品のナノレベルの輪郭や高さを測定します。

Q. レーザーセンサーとVAS（白色光）、どちらを選ぶべきか迷っています。
A. 一般的な樹脂や基板の反り測定など、スピードと広範囲のスキャンを重視する場合は「レーザー」をおすすめします。一方、対象物が「透明」「鏡面」である場合や、より高分解能（ナノレベル）の深さ・段差測定が必要な場合は「VAS」が必須となります。

Q. VASも、画像やプローブと一緒に自動で切り替えて使えますか？
A. はい、完全に統合されています。プローブ等と同様に自動ツールチェンジャーに対応しており、1つのプログラム内で必要な瞬間にだけVASを呼び出して測定を行うことができます。