VAS垂直軸白色光スキャナー

白色光スキャナーは、表面や形状に依存しない色収差共焦点センサーにより、非接触で波長を距離へ変換して測定します。

投影されるスポットサイズは極小なので粗面、鏡面、透明体等の表面測定に最適な、遮蔽効果の少ないスキャナーです。

VAS-500白色光スキャナー

製造元:プレシテック、ドイツ

透明な表面の正確な輪郭と厚さの測定

広い厚さ測定範囲

距離と形状の測定

用途:

マイクロエレクトロニクス部品などの位置および寸法測定、トポグラフィー、輪郭、粗さ測定(ツール表面など)、及びガラスコーティングの厚さ測定といった用途に最適です。

注:トポグラフィー(英:Topography)とは、対象物表面の凹凸および特徴を観察し、それを精細に表したものをいう。

代表的測定例:

– 半導体およびマイクロエレクトロニクス分野におけるウェハー測定。

– ガラスまたはプラスチックフィルムの厚さ測定と制御。

遮蔽効果(シャドウイング)

波長を距離へ変換する垂直軸色

収差共焦点測定により、遮蔽効果

(シャドウイングまたは死角)が殆ど発生しません

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