照明が届かない深い溝や凹凸面、粗い表面や鏡面等の測定に使われる非接触式レーザー測定は、センサーがレーザースポットを測定対象物に投影し、その反射光を距離に応じて一定の角度で受信素子に入射し、受信素子上の光スポットの位置と反射光から受信素子までの距離から、測定対象物までの距離がセンサーで計算され測定されます。
照明が届かない深い溝や凹凸面に
▶ 製造元:マイクロエプシロン社、ドイツ
▶ 強力な反射対策(部品の粗い面/光る面の反射対応)
– 拡散反射
– 鏡面反射
▶ 距離、厚さ測定
▶ そり測定、粗さ測定、平面度測定、表面形状測定等
▶ 被測定物表面からの反射量を即時に補正するRTSC付き
測定距離及びスポットサイズ:SMR=測定範囲の開始 / MMR=範囲の中央 / EMR=測定範囲の終了(例、 24/25/26mm) * レーザーの装着はステージの測定面積を減少させます。